【摘 要】
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采用改进型TFA-MOD方法在LAO单晶上制备了性能良好的单层厚膜YBCO超导薄膜.前驱液的Ba/Y比例根据EDS测得的YBCO膜成分进行了调整,采用甲醇、丙酸混合溶剂来稳定前驱液,并在前驱液中添加PVB来增加粘度以增加膜厚.本文研究了高温热处理不同升温速率对YBCO薄膜结晶及最终性能Jc的影响.XRD、SEM分析表明升温速率较低时YBCO薄膜中存在大量a轴晶粒,随着升温速率的增大,a轴晶粒减少直
【机 构】
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电子科技大学 电子薄膜与集成器件国家重点实验室,成都610054
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采用改进型TFA-MOD方法在LAO单晶上制备了性能良好的单层厚膜YBCO超导薄膜.前驱液的Ba/Y比例根据EDS测得的YBCO膜成分进行了调整,采用甲醇、丙酸混合溶剂来稳定前驱液,并在前驱液中添加PVB来增加粘度以增加膜厚.本文研究了高温热处理不同升温速率对YBCO薄膜结晶及最终性能Jc的影响.XRD、SEM分析表明升温速率较低时YBCO薄膜中存在大量a轴晶粒,随着升温速率的增大,a轴晶粒减少直至完全消除,Jc值也随之增大.
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