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阴极热子绝缘涂层制备工艺的改进
阴极热子绝缘涂层制备工艺的改进
被引量 : 0次 | 上传用户:sophia_deng
【摘 要】
:
为适应日益严苛的使用要求,阴极热子绝缘涂层的强度和可靠性必须不断提高,但存在难度。本文对其制备工艺进行了改进,调整了涂层浆料配制的工艺过程,并在其中添加了氧化钙,利
【作 者】
:
孙信
邵文生
秦颖
王卉
赵江涛
【机 构】
:
北京真空电子技术研究所;
【发表日期】
:
2013年期
【关键词】
:
阴极热子
绝缘涂层
液相烧结
致密化
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为适应日益严苛的使用要求,阴极热子绝缘涂层的强度和可靠性必须不断提高,但存在难度。本文对其制备工艺进行了改进,调整了涂层浆料配制的工艺过程,并在其中添加了氧化钙,利用液相烧结的快速传质机理,提高了涂层烧结后的致密度。最终制得涂层的强度和可靠性显著增强,并测试了涂层的绝缘性能。
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