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采用气溶胶辅助化学气相沉积(AACVD)技术，在普通玻璃上制备了AZO薄膜，研究了衬底温度对薄膜结构和光、电性能的影响。结果表明：温度对AZO薄膜的晶面生长择优取向和表面状态有显著影响。随温度的升高，薄膜导电性能得到显著改善，但其光学透过率逐渐劣化。
温度对AACVD法制备AZO透明导电薄膜的影响
【摘 要】
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采用气溶胶辅助化学气相沉积(AACVD)技术，在普通玻璃上制备了AZO薄膜，研究了衬底温度对薄膜结构和光、电性能的影响。结果表明：温度对AZO薄膜的晶面生长择优取向和表面状态
【机 构】
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燕山大学环境与化学工程学院, 河北省秦皇岛,066004
【出 处】
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中国化学会第28届学术年会
【发表日期】
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2012年期
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