【摘 要】
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介绍了在核物理和高能物理实验研究中使用的新型探测器--双面硅条两位位置灵敏探测器的结构，工作原理，制备工艺及测试结果。该探测器的灵敏面积为50×50 mm2,前面和背面都被分为相等宽度的16 条（每条的面积为50×3mm2）,在微电子工艺线上采用平面工艺和离子注入技术制备。在-25 伏偏压下，各条的反向漏电流都<10nA,对前面16条的能量分辨进行了初步测量，得到2.2％的能量分辨率（对5.486
【机 构】
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中国科学院近代物理研究所,兰州 730000 北京大学微电子研究院,北京 100871
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介绍了在核物理和高能物理实验研究中使用的新型探测器--双面硅条两位位置灵敏探测器的结构，工作原理，制备工艺及测试结果。该探测器的灵敏面积为50×50 mm2,前面和背面都被分为相等宽度的16 条（每条的面积为50×3mm2）,在微电子工艺线上采用平面工艺和离子注入技术制备。在-25 伏偏压下，各条的反向漏电流都<10nA,对前面16条的能量分辨进行了初步测量，得到2.2％的能量分辨率（对5.486MeVα-粒子）。
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