【摘 要】
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本文利用AFM,PL谱等方法对InGaAs(0≤x≤0.5)自组织量子点的分子束外延生长及发光特性进行了系统研究,摸清了各种生长条件下量子点的形成质量.
【机 构】
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中国科学院半导体研究所—超晶格国家重点实验室(北京)
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本文利用AFM,PL谱等方法对In<,x>Ga<,1-x>As(0≤x≤0.5)自组织量子点的分子束外延生长及发光特性进行了系统研究,摸清了各种生长条件下量子点的形成质量.
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