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本文详细地介绍了中国电子气体的技术现状.从光电子、微电子生产中具体使用的几种主要气体的工艺制造上进行了极为详细的介绍.同时,对电子气体的未来发展进行了展望.
中国电子气体的现状及发展走向
【摘 要】
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本文详细地介绍了中国电子气体的技术现状.从光电子、微电子生产中具体使用的几种主要气体的工艺制造上进行了极为详细的介绍.同时,对电子气体的未来发展进行了展望.
【机 构】
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光明化工研究设计院,辽宁,大连481信箱,116031
【出 处】
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2006全国电子化学品发展研讨会
【发表日期】
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2006年6期
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