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在开展扫描近场光学显微镜中关键技术研究基础上,比如三维纳米定位平台、光纤探针的制备方法以及探针-样品间距的近场测控技术等,建立了一套与倒置光学显微镜联合使用,具有多种工作模式并能与光谱联用的近场光学显微镜,可同时获取样品表面形貌和近场光学图像。利用这套系统获得了光盘样品、测试光栅的切变力形貌像以及CD-R光盘的切变力形貌像和近场光学像。