【摘 要】
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金属表面的周期性微纳米结构阵列可以显著改变金属零件表面性能而受到国内外广泛的关注与研究。研究了以胶体粒子为掩膜的电沉积在金属零件表面制作周期性排列的微坑阵列的工
【基金项目】
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河南省科技厅项目(162300410025);河南省高校科技创新团队支持计划(ISIRTSTHN013)
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金属表面的周期性微纳米结构阵列可以显著改变金属零件表面性能而受到国内外广泛的关注与研究。研究了以胶体粒子为掩膜的电沉积在金属零件表面制作周期性排列的微坑阵列的工艺,采用有限元仿真和实验对以胶体粒子为掩膜的电沉积过程进行了研究。仿真结果表明,微坑形貌主要受电流密度和沉积时间的影响;实验研究结果发现,电流密度和沉积时间影响掩膜粒子在基底的保持情况,改变电流密度和电沉积时间可以改变微坑阵列的质量和均匀性,其中作为掩膜的胶体粒子在基底的保持性是影响微坑阵列均匀性的主要因素。探讨了热处理工艺对胶体粒子掩膜电沉积对微坑阵列均匀性的影响。
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