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所谓四氯化硅低温氢化工艺，即相对于传统的多晶硅生产中的热氢化而言，该工艺采用相对较低的温度，在流化床内使四氯化硅转化为三氯氢硅。四氯化硅低温氢化技术具有操作简单、一次转化率高、能耗低等特点，在多晶硅棒生产中得到普遍推广。随着目前光伏行业的发展，节能降耗是摆在众多多晶硅企业面前的关键任务，在多晶硅生产工艺中，四氯化硅低温氢化显得尤为重要。