Au在低温PVF衬底上的分形生长

来源 :中国科协首届学术年会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:haoliangli
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该文从热力学角度对LPE中同时存在的Si氧休与SiO〈,2〉腐蚀的动态平衡过程进行了分析,探讨低温液相外延过程中防止硅氧化的技术条件,尝试采用Au/60wt℅Bi合金作为外延溶剂,采用饱和和Sn源保护Si衬底的方
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