影响硅片在酸液中腐蚀速度的因素

来源 :第九届中国太阳能光伏会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wwwwwwwww222
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氢氟酸(HF)/硝酸(HNO3)/水(H2O)体系对硅片的腐蚀非常复杂,腐蚀机理与酸液的配比有关.影响酸液腐蚀硅片的因素有酸液比例、溶液温度、稀释剂与助剂的添加、硅片表面状况、是否加搅拌等.通过改变反应液比例,控制反应液温度,添加合适稀释剂,加一定搅拌等方法可有效控制反应速度.
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