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该文简要地介绍了微机械加工中经常要遇到的浓硼硅衬底氧化特性，给出了１２００℃不同气氛下的氧化特性。
浓硼掺杂硅衬底氧化的研究
【摘 要】
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该文简要地介绍了微机械加工中经常要遇到的浓硼硅衬底氧化特性，给出了１２００℃不同气氛下的氧化特性。
【机 构】
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大学(江苏)
【出 处】
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第五届全国敏感元件与传感器学术会议
【发表日期】
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1997年期
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