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本文介绍了德国Pfeiffer QMA200四极滤质器的简明性能,并论述该仪器在阴极研究中的应用情况.研究不同气体对阴极的不同作用以及不同材料的放气特性.
四极滤质器在阴极研究中的应用
【摘 要】
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本文介绍了德国Pfeiffer QMA200四极滤质器的简明性能,并论述该仪器在阴极研究中的应用情况.研究不同气体对阴极的不同作用以及不同材料的放气特性.
【机 构】
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中国电子科技集团第十二研究所
【出 处】
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中国真空学会质谱与检漏专委会第十一届年会.中国计量测试学会真空校准专委会市第六届年会
【发表日期】
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2002年期
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