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用射频磁控溅射法在石英玻璃衬底上制备出了ZnMnO多晶薄膜.用分光光度计和X射线衍射仪分别研究了薄膜的结构和光学特性以及退火对他们的影响.结果表明:ZnMnO多晶薄膜具有(0002)高度择优取向,退火后明显改善了薄膜的结晶质量.在室温下观察到了薄膜的紫光(398nm)和绿光发射(490nm).退火后,绿光发射峰强度减弱.