【摘 要】
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TiCl、ZrOCl溶液水解后制得的TiO、ZrO溶胶（不含CT）与Pb(CHCOO)3HO溶液进行混合辅之以丙烯酰胺单体（AM）聚合形成的聚丙烯酰胺（PAM）作为吸附剂或粘结剂BPO作引发剂），可在单晶硅（111）基片
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TiCl<,4>、ZrOCl<,2>溶液水解后制得的TiO<,2>、ZrO<,2>溶胶（不含CT）与Pb(CH<,3>COO)<,2>3H<,2>O溶液进行混合辅之以丙烯酰胺单体（AM）聚合形成的聚丙烯酰胺（PAM）作为吸附剂或粘结剂BPO作引发剂），可在单晶硅（111）基片、Ni-Ti基片和蒸金硅基片上制备出PZT薄膜。Pb过量10mol能有效地抑制烧绿石相的形成。薄膜中晶粒生长均匀，无裂纹。
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