【摘 要】
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采用传统的加工方法制备三维微电极非常困难,特别是带有尺寸小于100μm微特征的三维微电极。提出采用低频微幅振动微细电解线切割(线电极直径8μm)与微细电阻滑焊相结合制备
【机 构】
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深圳大学机电与控制工程学院; 深圳大学光电工程学院;
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目(51175348,51405306,51375315,51575360)
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采用传统的加工方法制备三维微电极非常困难,特别是带有尺寸小于100μm微特征的三维微电极。提出采用低频微幅振动微细电解线切割(线电极直径8μm)与微细电阻滑焊相结合制备三维微电极。首先,用微细电解线切割加工30μm厚的不锈钢箔以获得多层二维微结构;然后将多层二维微结构叠层并进行微细电阻滑焊连接获得三维微电极。研究了加工电压、进给速度、运丝幅值、振动幅值及振动频率对微细电解线切割平均加工间隙及加工表面质量的影响。实验结果表明:当加工电压为6 V,进给速度为1.33μm/s,运丝幅值为30μm,振动幅值为7μm及振动频率为150 Hz时加工的表面质量最佳,加工间隙最小。采用该组工艺参数制备的三维微电极用于微细电解加工获得了三维微型腔。
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