【摘 要】
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等离子体中的离子引出是一个涉及到多物理场耦合的复杂的物理过程。本文基于描述非平衡等离子体输运特性的数学物理模型1推导获得了描述离子引出过程中粒子运动规律的一维电子平衡流体模型。该模型不考虑引出过程中粒子间的碰撞以及在极板表面的溅射过程，并且假定电子处于热平衡状态，而着重研究离子在电场中的运动规律。
【机 构】
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清华大学工程物理系,北京 100084
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等离子体中的离子引出是一个涉及到多物理场耦合的复杂的物理过程。本文基于描述非平衡等离子体输运特性的数学物理模型1推导获得了描述离子引出过程中粒子运动规律的一维电子平衡流体模型。该模型不考虑引出过程中粒子间的碰撞以及在极板表面的溅射过程，并且假定电子处于热平衡状态，而着重研究离子在电场中的运动规律。
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