【摘 要】
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由于MEMS开关在微波波段内具有良好的射频性能,特别适合在体积、重量和插入损耗受限的各种微波毫米波电路与系统中应用。本文以传统串联和并联型射频MEMS开关电路构成特点为
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由于MEMS开关在微波波段内具有良好的射频性能,特别适合在体积、重量和插入损耗受限的各种微波毫米波电路与系统中应用。本文以传统串联和并联型射频MEMS开关电路构成特点为出发点,重点讨论了几类典型的射频MEMS开关的分析和优化设计方法,如热驱动横向开关、单刀多掷开关等。同时,以射频MEMS开关作为基本单元电路所设计的MEMS移相器进行了介绍,包括反射型和开关线型移相器、分布式移相器的电路构成,以及分析和设计方法。最后给出了MEMS开关和移相器的加工工艺特点和典型应用。
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