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本文基于RTAI实时扩展的Ubuntu Linux操作系统，利用开放源代码的LinuxCNC软件平台，开发出具有良好核心功能、用户界面友好的微细线切割加工数控系统。该系统驱动高精度压电陶瓷直线电机实现三坐标直线运动轨迹控制，通过控制由压电陶瓷电机构成的精密C轴，可实现被加工零件的旋转与分度;还设计了走丝平稳、张力可控的水平走丝机构和微能脉冲电源及放电状态检测电路。采用直径为20 μm的微细电极丝，在直径为1000 μm的铜管上加工出螺距为900 μm的微细螺旋形结构，螺旋槽的最小宽度不大于60 μm。加工试验结果表明，所开发的微细线切割加工装置可用于微小零件的加工。