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本文研究制备了cSiO2/bY2O3/aSiO2/ZnS/aSiO2/bY2O3/cSiO2多层膜系。研究发现：1)ZnS和Y2O3之间的应力可通过SiO2缓冲层来释放；2)不开裂的Y2O3薄膜可成功的在ZnS上制备：3)ZnS的硬度和透过率分别提高了430Kg/mm2和83%。
ZnS红外窗口上SiO2Y2O3增透保护膜的制备与研究
【摘 要】
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本文研究制备了cSiO2/bY2O3/aSiO2/ZnS/aSiO2/bY2O3/cSiO2多层膜系。研究发现：1)ZnS和Y2O3之间的应力可通过SiO2缓冲层来释放；2)不开裂的Y2O3薄膜可成功的在ZnS上制备：3)ZnS
【机 构】
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新材料技术重点实验室,哈尔滨工业大学深圳研究生院,深圳,518055复合材料与结构研究所,哈尔滨工业大学,哈尔滨,150080
【出 处】
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第十一届全国X射线衍射学术大会暨国际衍射数据中心(ICDD)研讨会
【发表日期】
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2012年7期
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