真空设备水蒸气渗透速率研究

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真空设备采用橡胶作为密封材料,对于橡胶等有机材料,水蒸气具有较高渗透速率。水蒸气进入真空设备,造成内部升压,同时还与物料发生反应。因此,研究真空设备水蒸气渗透十分必要。为获得真空设备环境湿度与水蒸气渗透速率的对应关系,本文开展了相关研究。采用静态升压法计算获得水蒸气的渗透速率,通过除气获得稳定放气量本底,通过高纯氮与水蒸气配比获得研究所需任意范围的湿度环境,开发了符合测试要求的试验装置。通过实际研究测试,获得了真空设备室温下水蒸气渗透速率及在室温时水蒸气渗透速率与湿度呈线性关系的规律,为研究真空设备水蒸气渗透相关问题提供了技术支持。
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