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该文主要介绍了ＬＩＧＡ这种制作三维结构器件的新技术，着重探究了如何用ＬＩＧＡ技术制作凸点电极。
用LIGA技术制作凸点电极的工艺途径探索
【摘 要】
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该文主要介绍了ＬＩＧＡ这种制作三维结构器件的新技术，着重探究了如何用ＬＩＧＡ技术制作凸点电极。
【机 构】
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兵器工业第二一四研究所(蚌埠)
【出 处】
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第十届全国半导体集成电路、硅材料学术会
【发表日期】
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1997年期
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