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Study on the Surface Quality of Al2O3 Nano-Films by Ion Beam Sputtering Deposition
【机 构】
：
Department of Material Science and Technology, Northeastern University at Qinhuangdao,Qinhuangdao ,
【出 处】
：
The 11th International Workshop on Plasma-Based Ion Implanta
【发表日期】
：
2011年期
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