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ICF 大口径终端光学元件在高功率紫外激光辐照下极易产生损伤(又称微小缺陷)，这些损伤需要及时准确地检测出来，以避免影响实验光束质量和造成光学元件损坏。
大口径光学元件微小缺陷检测方法
【摘 要】
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ICF 大口径终端光学元件在高功率紫外激光辐照下极易产生损伤(又称微小缺陷)，这些损伤需要及时准确地检测出来，以避免影响实验光束质量和造成光学元件损坏。
【机 构】
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哈尔滨工业大学电气学院
【出 处】
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2017全国第十三届精密工程学术研讨会 暨精密机械分会理事会七届一次会议
【发表日期】
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2017年6期
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