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RF MEMS器件的研究

来源 :第五届全国微米/纳米技术学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户：erkonga

【摘 要】

：

对微机械电容、微机械电感、微机械谐振器/滤波器、微机械传输线、微机械天线阵列和微机械开关等RF MEMS器件的特点、研究现状及其应用领域进行了综述,并展望了它们未来的发展趋势.

【作 者】

：

缪旻 金玉丰 武国英 

【机 构】

：

北京大学微电子学研究所(北京)

【出 处】

：

第五届全国微米/纳米技术学术会议

【发表日期】

：

2001年8期

【关键词】

：

RF MEMS RF MEMS器件 微机械电容 微机械天线阵列 微机械开关 移动射频装置 

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对微机械电容、微机械电感、微机械谐振器/滤波器、微机械传输线、微机械天线阵列和微机械开关等RF MEMS器件的特点、研究现状及其应用领域进行了综述,并展望了它们未来的发展趋势.

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