电子束曝光系统中的新型图形发生器

来源 :第十一届全国电子束、离子束、光子束学术年会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:welletboy
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
本文介绍了一种新的电子束曝光系统图形发生器,把目前现有的图形发生器的功能移植至数字信号处理器中,增加了圆形和圆环图形的处理功能,使各种图形硬件化,提高图形的运算和处理速度,克服了以前图形发生器存在的弊病.
其他文献
目前,油气田开发面临着老油田提高采收率、低渗透和非常规油田急需开发等重要问题.随着全球经济的发展,各国对原油的需求量将会逐年增长,油气在能源中的主体地位短期内不可替
随着油气勘探开发投资增长,全球钻井行业呈现陆海两级分化格局,深水钻井行业发展前景广阔.本文首先通过调研数据资料,对2019年全球钻井市场发展概况进行分析.其次结合国际油
随着全球经济社会的飞速发展以及油气储运技术的更新进步,油气储运事业面临着重大的机遇与挑战.如何保持油气储运设施的持续稳定运行,经济可行地进行规划建设新储运设施十分
在开展岩土工程野外勘测工作时,建筑周围的地理位置、水文地质等因素对于勘测过程结果的取得发挥着重要影响作用,为了提高工程施工的稳定性和安全性,避免因为人为原因而出现的岩
当前,世界炼油工业正面临着生产能力过剩、油品结构调整、燃料质量升级、环保法规趋严以及来自替代燃料快速发展带来的多元化竞争等新形势,炼油技术装备正向着清洁化、一体化
近年来,城市“热岛效应”、夏季“看海”现象、河道黑臭、水生态系统退化等水问题频发,为应对气候变化,缓解传统雨水管理的不足,国家积极推行海绵城市建设,通过自然生态基底保护、
本文介绍了几种常见的由集成电路计算机辅助设计(CAD)生成的图形数据格式,详细阐述了可变矩形电子束曝光机的图形数据JEOL51的转换过程.
随着社会不断的发展,我国经济水平逐渐提高,土木工程在社会经济发展中起到了非常重要的作用,可以有效的保证建筑工程施工质量,促进建筑行业快速发展.混凝土在建土木工程施工
石质边坡防护是公路、铁路工程的重要组成部分,采用合理的边坡防护方案,不但可以对边坡进行有效加固,而且能够使边坡与自然环境融为一体.本文将通过石质边坡三种防护方案的技
介绍扫描显像的基本原理,亚微米电子束曝光机对扫描显像系统的基本要求,扫描显像系统的基本组成部分和实现的功能.对今后扫描显像系统的设计提出了建议.