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通过干法刻蚀和湿法腐蚀制备出两种图形化蓝宝石衬底。从干法刻蚀和湿法腐蚀制备图形化蓝宝石衬底形成机理,制程以及芯片工艺的角度分析比较了两种图形化蓝宝石衬底对GaN基LED波长均匀性的影响。相较于干法图形化衬底而言,基于湿法图形化衬底生长的外延层及LED芯片具有较好的波长均一性。
干法和湿法图形化蓝宝石衬底在GaN基LED上的应用
【摘 要】
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通过干法刻蚀和湿法腐蚀制备出两种图形化蓝宝石衬底。从干法刻蚀和湿法腐蚀制备图形化蓝宝石衬底形成机理,制程以及芯片工艺的角度分析比较了两种图形化蓝宝石衬底对GaN基LE
【发表日期】
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2012年期
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