【摘 要】
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本文研究了1064nm激光预处理对高反膜和减反射膜抗激光损伤特性的影响,并探讨了多脉冲激光辐照累积损伤与激光预处理之间的关系.利用电子束蒸发技术制备了中心波长为1064nm的
【机 构】
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中科院上海光学精密机械研究所光学薄膜技术研究与发展中心,上海,201800
【出 处】
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第八届全国激光科学技术青年学术交流会
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本文研究了1064nm激光预处理对高反膜和减反射膜抗激光损伤特性的影响,并探讨了多脉冲激光辐照累积损伤与激光预处理之间的关系.利用电子束蒸发技术制备了中心波长为1064nm的HfO2/SiO2高反膜和减反射膜,采用三能量台阶提升的方式进行了小光斑扫描激光预处理,并依照国际标准ISO11254-1.2对激光预处理前后样品的单脉冲和多脉冲激光损伤阈值进行了测试.结果发现,高反膜的单脉冲和和多脉冲激光损伤阈值都得到了不同程度的提升,并且单脉冲激光损伤阈值得到的增强最明显.而且发现,高反膜存在明显的累积损伤,随着激光脉冲数目的增加阈值降低.然而,减反射膜即没有表现出激光预处理的增强效果,也不存在多脉冲作用的累积损伤特性.
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