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导出光刻成像的计算机模拟公式，提出逆傅利叶变换卷积滤波提高光刻分辨率的原理及方法，并和光瞳滤波进行了比较。在数值孔径为０．６０的１９３μｍ深紫外光刻曝光机上，实现０．１３μｍ左右的密集型线条，实现较高对比度的空间像光强分布。
逆傅利叶变换卷积滤波提高光刻分辨率方法研究
【摘 要】
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导出光刻成像的计算机模拟公式，提出逆傅利叶变换卷积滤波提高光刻分辨率的原理及方法，并和光瞳滤波进行了比较。在数值孔径为０．６０的１９３μｍ深紫外光刻曝光机上，实现０．１３μｍ左右的密集型线条，实现较高对比度的空间像光强分布。
【机 构】
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科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验(成都) 科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家
【出 处】
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第十届全国电子束、离子束、光子束学术年会
【发表日期】
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1999年12期
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