空心阴极离子镀Ti(A1)N涂层的研究

来源 :'99第六届海峡两岸表面精饰联谊会 | 被引量 : 0次 | 上传用户：yyx19870907

【摘要】

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本文利用IPB30/30T型空心阴极离子镀膜机研制了Ti(A1)N涂层.性能研究结果表明Ti(A1)N涂层中,A1元素富集于涂层/基材的界面处;该涂层由内表面到外表面的相组成依次为A1、TiN和

【作者】

：

于力金柱京徐家寅

【机构】

：

中国科学院金属腐蚀与防护研究所(沈阳)

【出处】

：

'99第六届海峡两岸表面精饰联谊会

【发表日期】

：

1999年期

【关键词】

：

空心阴极离子镀膜机涂层元素富集性能研究腐蚀实验相组成外表面内表面腐蚀性溶液界面基材常温

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本文利用IPB30/30T型空心阴极离子镀膜机研制了Ti(A1)N涂层.性能研究结果表明Ti(A1)N涂层中,A1元素富集于涂层/基材的界面处;该涂层由内表面到外表面的相组成依次为A1、TiN和Ti<,2>N涂层的耐H<,2>SO<,4>溶液(常温)腐蚀性优于TiN涂层、在500℃NaC1盐腐蚀实验中更明显优于TiN层.

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