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该文报导一种制备In柱的新方法及初步的实验结果，并就其制备原理、设计原则、工艺难度进行了分析讨论。认为用该技术制备的In柱可满足混成红外焦平面倒装互连的要求。
混合红外焦平面铟柱制备及应用
【摘 要】
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该文报导一种制备In柱的新方法及初步的实验结果，并就其制备原理、设计原则、工艺难度进行了分析讨论。认为用该技术制备的In柱可满足混成红外焦平面倒装互连的要求。
【出 处】
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第十三届全国红外科学技术交流会
【发表日期】
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1998年期
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