【摘 要】
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利用改进的直接比较法校准装置，对某型号满量程为133Pa 的电容薄膜真空计进行实验.主要测试了其在15.0℃～26.0℃范围内的测量结果与温度之间的关系，考察了在不同温度下零点
【机 构】
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兰州空间物理研究所,甘肃兰州,730000
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利用改进的直接比较法校准装置，对某型号满量程为133Pa 的电容薄膜真空计进行实验.主要测试了其在15.0℃～26.0℃范围内的测量结果与温度之间的关系，考察了在不同温度下零点漂移的情况.并且利用静态膨胀法对被测真空计进行了校准，将校准结果与实验结果进行比较.在直接比较法实验中，将MKS 型号为190A 的满量程为133Pa 的电容薄膜真空计作为参考.研究表明，在不同温度下，两种电容薄膜真空计均表现了良好的线性，并且与23℃情况下的偏差基本与温差成正比.而零点漂移与温度的关系不明确，但总体上呈现随着温度的增加，零点漂移更严重的趋势.
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