【摘 要】
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作为一种微观形态学工具,光学显微镜在工业测试方面的应用,目前主要大家比较熟悉的主要是以下方面:首先,单独作为形态学工具,进行材料组织分析和外观缺陷检查,其典型的产品是
【出 处】
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2003中国集成电路产业发展战略研讨会暨中国半导体行业协会IC分会年会
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作为一种微观形态学工具,光学显微镜在工业测试方面的应用,目前主要大家比较熟悉的主要是以下方面:首先,单独作为形态学工具,进行材料组织分析和外观缺陷检查,其典型的产品是金相显微镜,和立体显微镜；第二,与光栅量测结合,进行部件的精密尺寸测量,其典型的产品是工具显微镜,测量显微镜.
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