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用1064nm激光实验研究了HfO<,2>/SiO<,2>薄膜的激光损伤增强效应,实验以薄膜激光损伤阈值70﹪的激光能量开始,采用N-ON-1方式处理薄膜,激光脉冲的能量增量为5J/cm<2>.实验结果表明,激光处理薄膜表面能使激光损伤阈值提高3倍.
1064nm激光增强HfO<,2>/SiO<,2>薄膜抗激光损伤研究
【摘 要】
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用1064nm激光实验研究了HfO/SiO薄膜的激光损伤增强效应,实验以薄膜激光损伤阈值70﹪的激光能量开始,采用N-ON-1方式处理薄膜,激光脉冲的能量增量为5J/cm.实验结果表明,激光处
【机 构】
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成都精密光学工程研究中心(成都)
【出 处】
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2003年全国光电技术学术交流会暨第十六届全国红外科学技术交流会
【发表日期】
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2003年期
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