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磁场强度对磁约束磁控溅射源工作状态的影响

来源 :年西部光子学学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户：q496712523

【作 者】

：

袁渊明  弥谦  潘婷 

【出 处】

：

年西部光子学学术会议

【发表日期】

：

2020年1期

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