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微米亚微米技术的发展使MEMS技术和纳米技术出现愈来愈多的技术交叉,微/纳米技术呈现大融合趋势。本文介绍了微纳米加工技术的发展现况、技术特点,分析了几种微/纳米技术综合发展的可行性。
微纳米加工技术发展现状
【摘 要】
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微米亚微米技术的发展使MEMS技术和纳米技术出现愈来愈多的技术交叉,微/纳米技术呈现大融合趋势。本文介绍了微纳米加工技术的发展现况、技术特点,分析了几种微/纳米技术
【机 构】
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中国电子科技集团公司第五十五研究所,江苏,南京,210016
【出 处】
：
2005(第四届)中国纳米科技西安研讨会
【发表日期】
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2005年期
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