【摘 要】
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建立(110)ZnO/IDT/36°YX-LiTaO3多层结构延迟线的3D模型,利用有限元方法对该延迟线所激发Love波的传播特性进行仿真研究.结果表明,当声波传播方向与ZnO的c轴垂直且薄膜厚度与波长的比值th/λ=0.044时,Love波机电耦合系数取最大值7.837％.Love波的水平剪切位移分量远大于横向和纵向位移分量,因此基于该结构的Love波传感器可用于液体环境下的传感检测.然后讨论了
【机 构】
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南京邮电大学电子科学与工程学院,南京210046 南京邮电大学电子科学与工程学院,南京210046
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建立(110)ZnO/IDT/36°YX-LiTaO3多层结构延迟线的3D模型,利用有限元方法对该延迟线所激发Love波的传播特性进行仿真研究.结果表明,当声波传播方向与ZnO的c轴垂直且薄膜厚度与波长的比值th/λ=0.044时,Love波机电耦合系数取最大值7.837％.Love波的水平剪切位移分量远大于横向和纵向位移分量,因此基于该结构的Love波传感器可用于液体环境下的传感检测.然后讨论了传播方向对Love波声学特性的影响,分析发现,Love波机电耦合系数随传播方向的变化而变化,当传播方向与ZnO薄膜的c轴夹角θ=30°时,机电耦合系数达到最大值10.054％.
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