倒装芯片封装器件开封方法研究

来源 :四川省电子学会曙光分会第十七届学术年会暨中物院第十届电子技术青年学术交流会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:xym1013
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对倒装芯片封装(Flip-Chip package)器件开封技术进行研究.总结了倒装芯片封装的类型、结构和封装材料;从理论上证明了倒装芯片封装器件开封的可能,并找出了限制开封的制约因素;提出了一种倒装芯片封装器件开封方法,该方法通过X射线检查、镶嵌、磨抛和酸刻蚀的综合应用突破了限制这类器件开封的因素,并证明了该方法的适用性;给出了建议的试验条件,展示了开封效果.
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