相移干涉中相位解包裹算法的分析与比较

来源 :2013 年(第五届)西部光子学学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:a724494702a
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  高效的相位解包裹算法能有效地提高相移干涉测量的精度.文章从原理和实验结果对绕过残点解包裹算法、棱形种子解包裹算法、最小二乘法解包裹算法及质量图导向法进行了对比分析.对含有随机噪声的包裹相位图进行了仿真实验,结果表明:绕过残点解包裹算法和棱形种子解包裹算法的运行速度最快,最小二乘法解包裹算法次之,质量图导向法的运行速度最慢;绕过残点解包裹算法、棱形种子解包裹算法和质量图导向法具有较高的测量精度,其解包后的相位经Zernike拟合后的面形RMS值可达10.4λ,而最小二乘法解包裹算法受噪声点影响较大,所得精度的RMS值为10.2λ.
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