【摘 要】
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CHES长晶炉采用热交换法生长蓝宝石晶体,热场分析对蓝宝石晶体的生长至关重要[1],固液界面形状、晶体中的热应力分布等都是由生长过程中晶体内的温度场和温度梯度分布所决定
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CHES长晶炉采用热交换法生长蓝宝石晶体,热场分析对蓝宝石晶体的生长至关重要[1],固液界面形状、晶体中的热应力分布等都是由生长过程中晶体内的温度场和温度梯度分布所决定的[2]。因此,本文通过CGSim进行数值模拟,并结合晶体生长实验,研究分析晶体生长过程中系统内温度分布、固液界面形状以及晶体中热应力分布,结果表明,晶体生长过程中,固液界面呈拱凸形状,与模拟的结果一致,且在晶体锥部偏上区域热应力偏大,会导致裂纹的产生,并影响晶体生长的良率。最后根据模拟的结果进行了热场修正,晶体质量得以进一步提高。
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