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The ALD Applications for High Power Devices and Optoelectronic Devices
【机 构】
：
Department of Photonics & Institute of Electro-Optical Engineering,National Chiao Tung University,10
【出 处】
：
第一届全国宽禁带半导体学术及应用技术会议
【发表日期】
：
2015年期
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