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使用各种方法在LaAlO3（100）衬底上生长高温超导体YBa2Cu3O7-x（YBCO）薄膜,常见有两种不同的取向（a轴取向和c轴取向）,他们具有不同表面形貌。本文使用光辅助MOCVD法,在不同的衬底温度下获得了这两种取向YBCO薄膜,并用X射线衍射2θ扫描和扫描电子显微镜对样品表征,结果如图1所示。