新型可控波形高功率脉冲磁控电源及放电研究

来源 :2015第十一届海峡两岸薄膜科学与技术研讨会 | 被引量 : 0次 | 上传用户：liuyanan508

【作者】

：

田修波

【机构】

：

哈尔滨工业大学先进焊接与连接国家重点实验室

【出处】

：

2015第十一届海峡两岸薄膜科学与技术研讨会

【发表日期】

：

2015年期

【关键词】

：

可控波形高功率脉冲磁控电源

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