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γ-Alumina Thin Films Deposited by Magnetron Sputtering with Resputtering Technique at Low Temperatur
【机 构】
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Centre for Composite Materials and Structures,Harbin Institute of Technology,China;Department of Mec
【出 处】
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The 8th Asian-European International Conference on Plasma Su
【发表日期】
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2011年1期
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