【摘 要】
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X射线能谱仪(EDS)作为透射电镜(TEM)的一个基本附件,其工作原理是利用聚焦的电子束作用于被观察试样的微小区域上,激发所含元素的特征X射线,再将这些信息捕获、处理和分析,获
【机 构】
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中国科学院固体物理所材料物理重点实验室,安徽合肥230031
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X射线能谱仪(EDS)作为透射电镜(TEM)的一个基本附件,其工作原理是利用聚焦的电子束作用于被观察试样的微小区域上,激发所含元素的特征X射线,再将这些信息捕获、处理和分析,获得试样组成元素的定性、半定量或定量分析结果.TEM具有高的空间分辨率,因而TEM中的EDS检测可以在微米和亚微米尺度下进行,通过EDS的点分析技术可进行材料显微结构的元素分析,用EDS的线扫描或面扫描分析还可以直观地获得微区元素分布数据.
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