【摘 要】
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本文将纳米Ag颗粒的SERS效应扩展应用于硅基薄膜材料的拉曼散射光谱中，以展示其高能电场对固态硅基薄膜材料的作用能力。研究表明纳米Ag颗粒的表面高能电场能够显著增强非晶硅及硅锗薄膜材料的拉曼光谱信号强度，得到了非晶硅薄膜TO模增益13.76、TA模增益23.89以及非晶硅锗薄膜Ge-Ge键增益10.58的结果。该结果表明，纳米Ag颗粒的表面高能电场对硅基薄膜材料同样具有显著的表面增强拉曼散射效应，
【机 构】
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南开大学光电子薄膜器件与技术研究所,光电信息技术科学教育部重点实验室,光电子薄膜器件与技术天津市重点实验室,天津 300071
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本文将纳米Ag颗粒的SERS效应扩展应用于硅基薄膜材料的拉曼散射光谱中，以展示其高能电场对固态硅基薄膜材料的作用能力。研究表明纳米Ag颗粒的表面高能电场能够显著增强非晶硅及硅锗薄膜材料的拉曼光谱信号强度，得到了非晶硅薄膜TO模增益13.76、TA模增益23.89以及非晶硅锗薄膜Ge-Ge键增益10.58的结果。该结果表明，纳米Ag颗粒的表面高能电场对硅基薄膜材料同样具有显著的表面增强拉曼散射效应，能够提高硅基薄膜中弱峰的探测精度，为硅基薄膜精细的结构分析提供了一个有力的工具。
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