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本文提出了电感耦合等离子体光谱仪直接测定三氯氢硅中微量元素B含量的分析方法，确定了最佳的测定条件。该方法简便、快速、灵敏，B元素的检出限为0.05ug/g；检测的相对标准偏差＜5％；回收率93％~101％，结果令人满意。
ICP-AES法测定三氯氢硅中微量元素B的含量
【摘 要】
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本文提出了电感耦合等离子体光谱仪直接测定三氯氢硅中微量元素B含量的分析方法，确定了最佳的测定条件。该方法简便、快速、灵敏，B元素的检出限为0.05ug/g；检测的相对标准偏差＜5％；
【机 构】
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信息产业部专业材料质量监督检验中心,天津市 300192
【出 处】
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第十六届全国半导体集成电路硅材料学术会议
【发表日期】
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2009年期
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