【摘 要】
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采用光辅助金属有机化合物气相沉积方法在c面蓝宝石衬底上制备ZnO薄膜。实验结果表明光辅助的引入对ZnO薄膜的特性具有很大的影响。SEM测试结果表明,光辅助的引入使得ZnO
【机 构】
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State Key Laboratory on Integrated Optoelectronics, College of Electronic Science and Engineering, J
【出 处】
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第十七届全国化合物半导体材料微波器件和光电器件学术会议
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采用光辅助金属有机化合物气相沉积方法在c面蓝宝石衬底上制备ZnO薄膜。实验结果表明光辅助的引入对ZnO薄膜的特性具有很大的影响。SEM测试结果表明,光辅助的引入使得ZnO从三维的纳米柱形式转变成二维的致密薄膜形式。同时,XRD0-20结果也证实了光辅助对ZnO薄膜晶体质量的改进,ZnO (002)衍射峰摇摆曲线的半高宽从1656弧秒降为284弧秒。此外,PL测试结果表明光辅助条件下制备的ZnO具有更高的发光质量。认为,光辅助的引入在一定程度上改善了ZnO在最初阶段的成核机制。更高的成核密度最终导致了致密、连续ZnO单晶薄膜的形成。
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