【摘 要】
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在本文中，做为低折射率材料，七种稀土氟化物(氟化镧、氟化铈、氟化谱、氟化钐、氟化铒、氟化镱和氟化钇)在长波红外宽带增透中得到了应用。稀土氟化物薄膜被沉积在锗基片，使用洛伦兹谐振子模型对测量的透射谱拟合得到2～20μm光谱范围的薄膜光学常数，并且，沉积在硅基片的薄膜反射谱也被分析。使用稀土氟化物作为低折射率材料的长波红外宽带增透在8到15μm的光谱性能表明稀土氟化物是一种优良的低折射率光学薄膜材料。
【机 构】
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中国科学院上海技术物理研究所，上海，200083，中国 杭州电子科技大学材料物理研究所，杭州，31
【出 处】
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长三角地区科技论坛激光分论坛暨上海市激光学会2011年学术年会
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在本文中，做为低折射率材料，七种稀土氟化物(氟化镧、氟化铈、氟化谱、氟化钐、氟化铒、氟化镱和氟化钇)在长波红外宽带增透中得到了应用。稀土氟化物薄膜被沉积在锗基片，使用洛伦兹谐振子模型对测量的透射谱拟合得到2～20μm光谱范围的薄膜光学常数，并且，沉积在硅基片的薄膜反射谱也被分析。使用稀土氟化物作为低折射率材料的长波红外宽带增透在8到15μm的光谱性能表明稀土氟化物是一种优良的低折射率光学薄膜材料。
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