【摘 要】
：
硅微传声器是一种用MEMS技术制造的、将声信号转换为电信号的声学传感器.自2002年起,中国科学院声学研究所在中国科学院知识创新工程试点项目、国家863计划MEMS重大专项课题
【机 构】
：
中国科学院声学研究所,北京,100080
【出 处】
：
中国声学学会2006年全国声学学术会议
论文部分内容阅读
硅微传声器是一种用MEMS技术制造的、将声信号转换为电信号的声学传感器.自2002年起,中国科学院声学研究所在中国科学院知识创新工程试点项目、国家863计划MEMS重大专项课题和国家自然科学基金"半导体集成化芯片系统基础研究"重大研究计划重点项目的支持下,先后开展了硅微电容传声器、硅微压电传声器及其应用集成系统的研究工作,在方形振膜、圆形振膜、聚亚酰胺结构、微凸防粘连结构的硅微电容传声器和分裂电极硅微压电传声器等研制中,取得了一系列的理论和实验进展,并且结合低噪声升压电路、匹配电路、采样与处理模块、无线接入模块的研制,形成了一些典型的应用集成系统方案和样机,为我国声学微机电器件和系统的发展奠定了良好的基础.本文介绍了相关的研究进展和所突破的关键技术,指出了进一步的发展方向.
其他文献
层状粘接结构在现代工业中被广泛地应用,对层状粘接结构的无损检测与评价的需求日益增加,在无损检测与评价的方法和技术中,信号处理方法和技术所占的比重越来越高[1].本文针
近些年来,具有通孔型结构的金属泡沫的吸声特性已经引起了人们的广泛关注,Lu[1]和Han[2]等发现其具有优良的吸声特性.与传统的吸声材料如玻璃纤维和聚酯泡沫等相比,金属泡沫
噪声声品质的研究是环境声学研究的新型研究领域.主观评价实验研究作为获得人们真实主观感受的重要手段,是在研究中起着重要的作用.如何获得第一手、真实、准确的主观评价试
作者曾研制了上限工作频率分别为10kHz、5kHz和1kHz的同振球型、同振圆柱型矢量水听器,并把它们与声压水听器在结构上复合为一体构成组合式水听器[1-3].这些水听器的矢量通道
随着目标隐身技术的发展,传统的被动声呐正在失去优势地位,低频主动声纳(LFAS)日益成为隐身目标探测与识别的主要手段,同时,低频主动声呐还在水下目标定位、导航、通信、海上
瑞利波的散射和透射问题较难给出解析解,前人曾采用不同的方法进行了研究,包括近似方法和数值方法,并取得了一系列的成果[1-2],但对较复杂情况的求解仍存在很大困难.有限差分
上个世纪四十年代,人们就已经开始了对水介质声吸收特性的研究.当时主要针对纯水和电解质溶液的吸声机理进行了研究.而对于混浊水的研究相对较少,本文主要介绍了如何在实验室
由于海洋渔业资源的日益枯竭和浅水养殖环境的恶化,近年来,深水网箱养殖发展迅速.在此基础上发展起来了如光学、声学等各种鱼群监测手段.但在监测过程中,如何对网箱内鱼群量
直流输电工程是为了降低电能在输送过程中的线损,在输电线路始端通过换流站把交流电转换成直流电传输,输送到目的地后再通过换流站将直流电转换回交流电.虽然直流输电工程实
人体的动脉存在血管狭窄现象,血管狭窄与邻近处血管细胞异常增生、血栓形成和狭窄后动脉扩张等具有密切的联系.因此,诊断和治疗血管狭窄在临床上具有重要的意义.超声多普勒血